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辅抽泵 (半导体相关)
BackingPump辅抽泵在高真空系统中,要想很快建立我们所需的高真空,单纯靠
铁氟隆 (半导体相关)
Teflon铁氟隆聚四氟乙烯,一种耐酸耐腐蚀耐高温的材料,我们使用的某些cass
扩散式泵 (半导体相关)
扩散式泵通过加热油,油气蒸发高速喷射出去,带出气体分子,达到抽气的目的。它可以达
薄膜成长 (半导体相关)
薄膜成长(ThinFilmGrowth),底材的表面材质也是薄膜的形成部分元素之
气相沉积 (半导体相关)
气相沉积(VaporPhaseDeposition),一种薄膜沉积的方法,在气态
质流控制器 (半导体相关)
质流控制器简称MFC,是直接测量气体流量的一种装置,常用在流动气体的控制上。主要
离子植入机 (半导体相关)
离子植入机
三氯氧化磷 (半导体相关)
一种用做N+扩散用的化合物。通常以N2为"载气"(CarrierGas),带着P
超音波清洗 (半导体相关)
超音波清洗(UltrasonicCleaning),通过超音波原理进行的清洗。超
化学机械研磨法 (半导体相关)
随着用以隔离之用的场氧化层(FOX),CMOS电晶体,金属层及介电层等构成IC的
氧化层阻陷电荷 (半导体相关)
氧化层阻陷电荷(OxideTrappedCharge),Qot,这类电荷没有特定
气体储柜 (半导体相关)
气体储柜(GasCabinet),储存气体钢瓶的柜子,一般是处于负压状态,防止气
传送室 (半导体相关)
传送室用来隔绝反应室与外界大气直接接触,以确保反应室内的洁净,降低反应室受污染的
椭圆测厚仪 (半导体相关)
椭圆测厚仪将已知波长的入射光分成线性偏极或圆偏极,照射2003-7-17在待射芯
随机存取内存 (半导体相关)
随机存取记忆器可分动态及静态两种,主要的差异在于动态随机存取内存(DRAM),在
磁控DC溅镀机 (半导体相关)
为了使离子在往金属靶表面移动时获得足够的能量,除了提高极板间的电压外,还必须使离
电浆 (半导体相关)
PECVD英文全名为PlasmaEnhancementCVD。CVD化学反应所需
傅氏转换红外线光谱分析仪 (半导体相关)
FTIR(傅氏转换红外线光谱分析仪)乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度
磊晶 (半导体相关)
Epitaxy磊晶外延附生:一种矿物的结晶附于另一矿物结晶表面的生长,这样两种矿
刷洗机 (半导体相关)
1.在沉积或蚀刻制程之后常会有些微尘落在芯片表面,此种P/D可刷洗去除,避免对良
压缩干燥空气 (半导体相关)
CDA压缩干燥空气通常指压力在60到110psi之间的空气,作为控气动阀的领气阀
区域氧化法 (半导体相关)
区域氧化法LocalOxidationofSilicon即区域氧化,简称LOCO
绝缘层上有硅 (半导体相关)
绝缘层上有硅SOI'绝缘层上有硅(SOI,SiliconOnInsulator)
低压化学气相沉积 (半导体相关)
LPCVD的全名是LowPressureChemicalVaporDeposit
自对准金属硅化物 (半导体相关)
自对准金属硅化物(Self-AlignedSilicide)的制程简称为Sali
底材 (半导体相关)
一般而言半导体中提及的Substrate就是指Wafer
针状阀 (半导体相关)
针状阀(NeedleValve)装在圆锥形阀座上的有细杆的阀,用于准确地调整液体
电荷陷入 (半导体相关)
无特定分布位置,主要是因为MOS操作时产生的电子或电洞被氧化层内的杂质或不饱和键
尘粒污染 (半导体相关)
尘粒污染(ParticleContamination)':由于芯片制造过程甚为漫
掺入杂质 (半导体相关)
为使组件运作,芯片必须掺以杂质()Doping),一般常用的有:预置:在炉管内通
碱金属雕子 (半导体相关)
AlkalineIons碱金属雕子如Na+,K+,破坏氧化层完整性,增加漏电密度
闸极氧化层 (半导体相关)
闸极氧化层
恒定源 (半导体相关)
通常杂质在半导体高温扩散有两种方式:Constant-Surface-Conce
离子植入 (半导体相关)
Implant离子植入离子注入:将具有很高能量的杂质离子射入半导体衬底中的掺杂技
通道阻绝植入 (半导体相关)
通道阻绝植入在集成电路中,各电晶体彼此间则以场氧化层(FOX)加以隔离的,因为场
MOS (半导体相关)
MOS金属半导体构成IC的晶体管结缸可分为两型一双载子型(bipolar)和MO
直流溅镀法 (半导体相关)
DCSputtering直流溅镀法脱离电浆的带正电荷离子,在暗区的电场的加速下,
电崩溃 (半导体相关)
当NMOS的沟道缩短,沟道接近汲极地区的载子将倍增,这些因载子倍增所产生的电子,
P/N型半导体 (半导体相关)
一般金属由于阻值相当低(10-2Ω-cm以下),因此称之为良导体,而氧化物等阻值
旋制氧化硅 (半导体相关)
旋制氧化硅(SpinonGlass)是利用旋制芯片,将含有硅化物的溶液均匀地平涂