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傅氏转换红外线光谱分析仪 （半导体相关）
FTIR（傅氏转换红外线光谱分析仪）乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度
薄膜成长 （半导体相关）
薄膜成长（ThinFilmGrowth），底材的表面材质也是薄膜的形成部分元素之
铜铟硒太阳能电池 （多元化合物半导体薄膜电池）
铜铟硒太阳能电池，亦称“铜铟硒太阳电池”。以铜铟硒薄膜为吸收层的多元化合物半导体
光阻 （半导体相关）
光阻（PhotoResist）'为有机材料，系利用光线照射，使有机物质进行光化学
低压晶体管 （固体半导体器件）
一种固体半导体器件，可以用于检波、整流、放大、开关、稳压、信号调制和许多其它功能
晶舟 （半导体相关）
Boat晶舟Boat原意是单木舟。在半导体IC制造过程中，常需要用一种工具作芯片
磊晶芯片 （半导体相关）
磊晶系在晶体表面成长一层晶体。
垂直层流 （半导体相关）
VLFVerticalLaminarFlow垂直层流，在流体的流动状态中，可分为
刷洗机 （半导体相关）
1.在沉积或蚀刻制程之后常会有些微尘落在芯片表面，此种P/D可刷洗去除，避免对良
标准清洗 （半导体相关）
标准清洗又叫RCA清洗。由SPM/APM/HPM组成，SPM为H2SO4和H2O
三氯氧化磷 （半导体相关）
一种用做N+扩散用的化合物。通常以N2为"载气"(CarrierGas)，带着P
空乏型 （半导体相关）
空乏型DepletionMOS操作性质与增强型MOS相反，它的通道不须要任何闸极
静电破坏 （半导体相关）
自然界的物质均由原子组成，而原子又由质子、中子及电子组成，在平常状态下，物质呈中
金属硅化物 （半导体相关）
Silicide通常指金属硅化物，为金属舆硅的化合物。在微电子工业硅晶集成电路中
电洞 （半导体相关）
电洞是晶体中，在原子核间的共享电子，因受热干扰或杂质原子取代，电子离开原有的位置
再回流 （半导体相关）
Reflow再回流回流是IC制程中一种特殊技术。是在沉积BPSG或BSG。之后，
磁敏电阻材料 （半导体）
磁敏电阻材料的电阻值随外旋磁场的变化而变化。与霍尔器件相比，磁敏电阻结构简单、可
萃取电极 （半导体相关）
Extraction Electrode是离子植入机中用来将Source的Arc
彩色激光灯 （RGB半导体激光器）
彩色激光灯采用RGB半导体激光器，由红、绿、蓝三色组成彩色和单色文字，适用于大型
次微米 （半导体行业术语）
次微米（Sub-Micron），一般用来描述半导体工业的发展。
铝硅铜 （半导体相关）
Al-Cu-Si铝硅铜金属溅镀时所使用的原料名称，通常是称为Target，其成份
牺牲氧化层 （半导体相关）
牺牲氧化层作用:去除在fieldoxidation过程中，由于KooiEffec
预烤 （半导体相关）
预烤(Hardbake):又称为蚀刻前烘烤(pre-etchbake)，主要目的
干式氧化 （半导体相关）
DryOxidation干式氧化在通入的气体中只有氧气与载气，只有氧气与底材发生
击穿电荷 （半导体相关）
表征二氧化硅电特性的参数，用加电流量电压法测得。加1mA至nsec,如果第nse
快速热制程 （半导体相关）
RTP(RapidThermalProcessing)与炉管最大的差别是:RTP
扩散式泵 （半导体相关）
扩散式泵通过加热油，油气蒸发高速喷射出去，带出气体分子，达到抽气的目的。它可以达
过氧硫酸清洗 （半导体相关）
过氧硫酸(PeroxymonosulfuricAcid)又称为CARO"saci
化学机械研磨法 （半导体相关）
随着用以隔离之用的场氧化层（FOX）,CMOS电晶体，金属层及介电层等构成IC的
磁控DC溅镀机 （半导体相关）
为了使离子在往金属靶表面移动时获得足够的能量，除了提高极板间的电压外，还必须使离
移动性离子电荷 （半导体相关）
移动性离子电荷一般出现在热氧化层中，主要来自钠及钾等贱金属杂质，影响到氧化层的电
半导体光刻技术 （半导体设备）
半导体光刻技术，是一种关键的半导体设备。从第一个晶体管问世算起，半导体技术的发展
弧光反应室 （半导体相关）
ArcChamber弧光反应室弧光反应室,事实上就是一个直流式的电浆产生器。因为
轻掺杂集极 （半导体相关）
轻掺杂集极简称LDD，可以防止热电子效应(HotElectron/Carrier
自对准金属硅化物 （半导体相关）
自对准金属硅化物(Self-AlignedSilicide)的制程简称为Sali
铝砷化镓 （半导体）
砷化镓铝，是一种半导体，其化学式为AlξGa1-ξAs。它的晶格常数非常接近砷化
阶梯覆盖能力 （半导体相关）
表征薄膜沉积时对晶片表面上不同几何结构的覆盖能力，简单地说，即膜层均匀性。如下图
平带电势 （半导体不存在过剩电荷时的电势）
平带电势（flat band potential）半导体不存在过剩电荷时的电势(
硼磷硅玻璃 （半导体相关）
BPSG:为硼磷硅玻璃，含有B,P元素的SiO2,加入B,P可以降低Flow温度
闸极氧化层 （半导体相关）
闸极氧化层