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硅片传送系统 （半导体相关）
硅片传送系统（WaferTransferSystem）用以实现硅片传送的系统。如
随机存取内存 （半导体相关）
随机存取记忆器可分动态及静态两种，主要的差异在于动态随机存取内存(DRAM)，在
氧化层阻陷电荷 （半导体相关）
氧化层阻陷电荷（OxideTrappedCharge），Qot,这类电荷没有特定
固定氧化层电荷 （半导体相关）
固定氧化层电荷（FixedOxideCharge）位于离Si-SiO2接口30?
P/N型半导体 （半导体相关）
一般金属由于阻值相当低(10-2Ω-cm以下)，因此称之为良导体，而氧化物等阻值
低压化学气相沉积 （半导体相关）
LPCVD的全名是LowPressureChemicalVaporDeposit
自对准金属硅化物 （半导体相关）
自对准金属硅化物(Self-AlignedSilicide)的制程简称为Sali
傅氏转换红外线光谱分析仪 （半导体相关）
FTIR（傅氏转换红外线光谱分析仪）乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度
磷硅玻璃 （半导体相关）
PSG磷硅玻璃是一种含磷的二氧化硅，我们现有制程中P的含量为4.25％。PSG与
结型二极管 （半导体二极管）
结型二极管，整流特性发生在N型和P型半导体材料之间的合金结、扩散结、电化学结或生
台积电 （台湾半导体代工商）
台积电，成立于1987年，是全球第一家专业积体电路制造服务（晶圆代工foundr
闭锁效应 （半导体相关）
Latchup:闭锁效应CMOS组件里的底材、阱及PMOS的漏极与NMOS的源极
薄膜成长 （半导体相关）
薄膜成长（ThinFilmGrowth），底材的表面材质也是薄膜的形成部分元素之
电浆 （半导体相关）
PECVD英文全名为PlasmaEnhancementCVD。CVD化学反应所需
半导体快速接头 （半导体、氟树脂半导体生产设备）
半导体快速接头，半导体、氟树脂半导体生产设备主要用于装置。主体应或注模成形的氟树
icscrm （半导体术语）
icscrm是关于半导体的学术名词。
铜铟硒太阳能电池 （多元化合物半导体薄膜电池）
铜铟硒太阳能电池，亦称“铜铟硒太阳电池”。以铜铟硒薄膜为吸收层的多元化合物半导体
阶梯覆盖能力 （半导体相关）
表征薄膜沉积时对晶片表面上不同几何结构的覆盖能力，简单地说，即膜层均匀性。如下图
再回流 （半导体相关）
Reflow再回流回流是IC制程中一种特殊技术。是在沉积BPSG或BSG。之后，
刻蚀选择比 （半导体术语）
刻蚀选择比指的是在同一刻蚀条件下一种材料与另一种材料相对刻蚀速率快慢。它定义为被
MOS （半导体相关）
MOS金属半导体构成IC的晶体管结缸可分为两型一双载子型(bipolar)和MO
光阻 （半导体相关）
光阻（PhotoResist）'为有机材料，系利用光线照射，使有机物质进行光化学
氧化物半导体材料 （具有半导体性质的氧化物）
氧化物半导体材料是由金属与氧形成的化合物半导体材料。氧化物半导体材料(oxide
平带电势 （半导体不存在过剩电荷时的电势）
平带电势（flat band potential）半导体不存在过剩电荷时的电势(
磷化镓单晶 （化合物半导体）
磷化镓单晶周期系第l、V族化合物半导体。化学分子式GaP。共价键结合，有一定的离
费城半导体指数 （全球半导体业景气主要指标之一）
费城半导体指数。英文全称PHLX Semiconductor Sector，简称
电洞 （半导体相关）
电洞是晶体中，在原子核间的共享电子，因受热干扰或杂质原子取代，电子离开原有的位置
硒化锌晶体 （VI族化合物半导体）
硒化锌晶体ainc selenide crystal }nSe周期表} ， VI
低压晶体管 （固体半导体器件）
一种固体半导体器件，可以用于检波、整流、放大、开关、稳压、信号调制和许多其它功能
晶舟 （半导体相关）
Boat晶舟Boat原意是单木舟。在半导体IC制造过程中，常需要用一种工具作芯片
磊晶芯片 （半导体相关）
磊晶系在晶体表面成长一层晶体。
垂直层流 （半导体相关）
VLFVerticalLaminarFlow垂直层流，在流体的流动状态中，可分为
洁净室 （半导体相关）
又称无尘室。半导体加工的环境是高净化空间，恒温恒湿，对微粒要求非常高。常用cla
刷洗机 （半导体相关）
1.在沉积或蚀刻制程之后常会有些微尘落在芯片表面，此种P/D可刷洗去除，避免对良
离子植入 （半导体相关）
Implant离子植入离子注入：将具有很高能量的杂质离子射入半导体衬底中的掺杂技
彩色激光灯 （RGB半导体激光器）
彩色激光灯采用RGB半导体激光器，由红、绿、蓝三色组成彩色和单色文字，适用于大型
雪崩倍增效应 （强电场下半导体中的载流子的倍增现象）
雪崩倍增效应，强电场下半导体中的载流子的大量倍增现象。当半导体中的电场超过某一特
崩溃电压 （半导体相关）
BreakdownVoltage崩溃电压左图是一个典型PN二极管的电流对电压曲线
次微米 （半导体行业术语）
次微米（Sub-Micron），一般用来描述半导体工业的发展。
碳化硅晶片 （一种半导体器件）
碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件。该材料具有高出传统硅数倍的