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真空室 （半导体相关）
Chamber真空室，反应室专指一密闭的空间，而有特殊的用途、诸如抽真空，气体反
旋干 （半导体相关）
通过高速旋转产生的离心力把硅片表面水滴驱除
试作芯片 （半导体相关）
PilotWafer为试作芯片，并非生产芯片(PrimeWafer)。在操作机器
化学机械研磨法 （半导体相关）
随着用以隔离之用的场氧化层（FOX）,CMOS电晶体，金属层及介电层等构成IC的
三氯氧化磷 （半导体相关）
一种用做N+扩散用的化合物。通常以N2为"载气"(CarrierGas)，带着P
预烧试验 （半导体相关）
Burnin预烧试验「预烧」(Burnin)为可靠性测试的一种，旨在检验出那些在
驱入 （半导体相关）
DriveIn驱入离子植入(ionimplantation)虽然能较精确地选择杂
硅片传送系统 （半导体相关）
硅片传送系统（WaferTransferSystem）用以实现硅片传送的系统。如
氧化层阻陷电荷 （半导体相关）
氧化层阻陷电荷（OxideTrappedCharge），Qot,这类电荷没有特定
自对准金属硅化物 （半导体相关）
自对准金属硅化物(Self-AlignedSilicide)的制程简称为Sali
井区 （半导体相关）
WELL即井区（WELL/Tank）。在IC中的组件MOSFET(即金氧半场效晶
电浆 （半导体相关）
PECVD英文全名为PlasmaEnhancementCVD。CVD化学反应所需
传送室 （半导体相关）
传送室用来隔绝反应室与外界大气直接接触，以确保反应室内的洁净，降低反应室受污染的
干式氧化 （半导体相关）
DryOxidation干式氧化在通入的气体中只有氧气与载气，只有氧气与底材发生
薄膜沉积 （半导体相关）
薄膜沉积（ThinFilmDeposition）形成的过程中，不消耗芯片或底材的
薄膜成长 （半导体相关）
薄膜成长（ThinFilmGrowth），底材的表面材质也是薄膜的形成部分元素之
鸟嘴 （词汇 | 石材）
鸟嘴:鸟的嘴巴，称之为'喙'(hui)。人们常用"鸟嘴"这一词来形容喜欢乱说乱讲
再回流 （半导体相关）
Reflow再回流回流是IC制程中一种特殊技术。是在沉积BPSG或BSG。之后，
再生硅片 （半导体相关）
Reclaim再生硅片半导体晶圆厂内设备进行生产前，均需以测试硅片来量测沉积膜层
电洞 （半导体相关）
电洞是晶体中，在原子核间的共享电子，因受热干扰或杂质原子取代，电子离开原有的位置
光阻 （半导体相关）
光阻（PhotoResist）'为有机材料，系利用光线照射，使有机物质进行光化学
傅氏转换红外线光谱分析仪 （半导体相关）
FTIR（傅氏转换红外线光谱分析仪）乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度
铝硅铜 （半导体相关）
Al-Cu-Si铝硅铜金属溅镀时所使用的原料名称，通常是称为Target，其成份
超音波清洗 （半导体相关）
超音波清洗（UltrasonicCleaning），通过超音波原理进行的清洗。超
标准清洗 （半导体相关）
标准清洗又叫RCA清洗。由SPM/APM/HPM组成，SPM为H2SO4和H2O
四乙基正硅酸盐 （半导体相关）
四乙基正硅酸盐，含有硅与碳、氢与氧的有机硅源，化学分子式是Si(OC2H5)4，
牺牲氧化层 （半导体相关）
牺牲氧化层作用:去除在fieldoxidation过程中，由于KooiEffec
台积电 （台湾半导体代工商）
台积电，成立于1987年，是全球第一家专业积体电路制造服务（晶圆代工foundr
P井 （半导体相关）
PWellP井在半导体行业里，一般在P-Sub上植入B以形成P-well,以便为
洁净室 （半导体相关）
又称无尘室。半导体加工的环境是高净化空间，恒温恒湿，对微粒要求非常高。常用cla
垫氧化层 （半导体相关）
PadOxide垫氧化层在制程中主要是起到缓冲层,一般做为SIN的垫底以抵消SI
EUV （半导体光刻技术）
EUV，即极紫外光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术；
USG （半导体相关）
即没有搀杂的二氧化硅，LPCVD制得，一般沉积在BPSG下面，以防止BPSG中的
氢化磷 （半导体相关）
一种半导体工业用气体。经灯丝加热供给能量后，可分解成:P"，PH＋，PH2＋。(
NSG （半导体相关）
NSG（NondopedSilicateGlass，无渗入杂质硅酸盐玻璃）为半导
磁控DC溅镀机 （半导体相关）
为了使离子在往金属靶表面移动时获得足够的能量，除了提高极板间的电压外，还必须使离
崩溃电压 （半导体相关）
BreakdownVoltage崩溃电压左图是一个典型PN二极管的电流对电压曲线
场氧化层 （半导体相关）
FieldOxide场氧化层，Field直译的意思是'场'。如运动场，足球场和武
挡片 （半导体相关）
DummyWafer挡片对制程起一定辅助作用的硅片，区别于产品、控片，一般对其质
晶圆厂 （半导体相关）
Fab晶圆厂Fabrication为'装配'或'制造'之意，与Manufactu