半导体生产最核心的设备,超级电老虎

半导体生产最核心的设备,超级电老虎_光刻机技点网

这是半导体制造公司生产芯片过程中必不可少的一种设备,是决定半导体生产工艺制程最核心的设备。
目前,国际上能够生产这类设备的公司主要有荷兰的ASML和日本的尼康、佳能,还有中国的上海微电子。在这4家公司当中,ASML凭借着自家的EUV占据了绝对的高端,日本的尼康和佳能则多年难有进步,停留在中端,而上海微电子则只能生产部分的低端设备。
这种设备产量极低,但价格高昂,而且保养极端讲究。以当今世界最先进的EUV为例,2019年年产量也就才26台,每台售价1.2亿美元,机器即便在不工作的时候也必须确保环境恒温、恒湿、无振动。为了防止地震带来的振动影响,放置机器的工厂还必须采用特殊的避震设计。
这种设备是个超级电老虎,一台机器的用电量就几乎相当于一个小城市,而能量的利用率却低到令人发指。同样以EUV为例,其工作输出功率大概是250瓦,但输入功率却高达 125万瓦,能量利用率只有0.02%,这还不包括配备的辅助冷却系统耗电量。
这就是
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技点百科
半导体 (电子科技材料)
半导体( semiconductor),指常温下导电性能介于导体(conduct
ASML (荷兰 全球最大的半导体设备制造公司)
ASML(全称:AdvancedSemiconductorMaterialLit
EUV (半导体光刻技术)
EUV,即极紫外光刻,它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术;
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