钽基电阻薄膜
(材料科学技术)
钽基电阻薄膜(tantalum based resistance film),材料科学技术名词,以钽为基体元素组成的化合物或合金电阻薄膜。包括氮化钽中、低电阻薄膜,钽硅耐高温高电阻薄膜及高稳定性的钽铝电阻薄膜等。
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