钽基电阻薄膜

钽基电阻薄膜（tantalum based resistance film），材料科学技术名词，以钽为基体元素组成的化合物或合金电阻薄膜。包括氮化钽中、低电阻薄膜，钽硅耐高温高电阻薄膜及高稳定性的钽铝电阻薄膜等。