合格质量区

（材料科学技术术语）

合格质量区指标称边缘除去后所确定的晶片表面中心区域。其中各参数值均符合规定的要求。应用学科：材料科学技术（一级学科），半导体材料（二级学科），元素半导体材料（三级学科）