合格质量区
(材料科学技术术语)
合格质量区指标称边缘除去后所确定的晶片表面中心区域。其中各参数值均符合规定的要求。应用学科:材料科学技术(一级学科),半导体材料(二级学科),元素半导体材料(三级学科)
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