几何量激光计量技术(laser measurement technique for geometrical metrology),工学-仪器科学与技术-计量学-几何量计量学,激光在几何量计量领域的应用技术。主要包括激光干涉测量技术、激光准直技术、激光三角法测量技术、激光扫描共焦测量技术等。激光干涉测量技术是利用激光单色性和相干性好的特点进行距离测量的技术。采用迈克尔逊干涉光路或其他的光路结构,通过对干涉条纹的计数及细分,可以获得干涉镜移动的距离。可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率的变化及振动等方面的测量。在测量仪器方面,常用的干涉仪有单频干涉仪、双频干涉仪、多波长干涉仪、白光干涉仪、马赫-泽德干涉仪、菲索干涉仪、泰曼-格林干涉仪等。激光准直技术是利用激光方向性好、光能量强的优点进行测量的技术,是形位误差测量的基础。激光准直测量系统主要由准直激光器、光电接收靶和滑板组成。以激光束为参考直线,安装在滑板上的光电接收靶测量出靶标运动轨迹对激光束方向的偏离,可以测量直线度、同轴度、平面度、平行度、垂直度等参数。激光三角法测量技术也是利用激光方向性好、光能量强的优点进行测量的技术。