离子沟道背散射谱法

离子沟道背散射谱法（ion channeling backscattering spectrometry），材料科学技术名词，卢瑟福背散射与离子沟道效应相结合，对单晶样品近表面层的结构或掺杂原子的占位进行分析的方法。用于研究晶体表面结构，测定晶格损伤，确定杂质原子在晶格中的位置等。