等离子体是物质存在的第4种状态，是由电子、离子、原子、分子和自由基等离子组成的集合体，具有宏观尺度的电中性和高导电性。低温等离子体从宏观上看，是电荷呈中性的电离气体。凡对物质施加能量后，使其形态发生变化，从固体到液体再到气体：如再施加能量，最终能使气体的分子及其原子成为电离状态，这就是物质的第四态，即等离子状态。这种等离子体，即使气体压力很低，其电子温度仍很高，当其他粒子（如离子、中性粒子）的温度较低时，这种状态的等离子体就是低温等离子体。等离子体中的离子、电子和激发态原子都是极活泼的反应性物种，使通常条件下难以进行或速度很慢的反应变得十分快速。脉冲电晕等离子体化学处理技术是20世纪80年代发展起来的一种空气污染控制新技术。利用高能电子（5eV～20eV）轰击反应器中的气体分子（NOX、SOX、O2和H2O等）；经过激活、分解和电离等过程产生氧化能力很强的自由基（・OH、・H2O）、原子氧（O）和臭氧（O3）等，这些强氧化物质可迅速氧化掉NOX、和SO2，在H2O分子作用下生成HNO3和H2SO4。