聚合物微机电系统（polymer micro electro mechanical system; polymer MEMS），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，在聚合物材料的基础上，应用微加工技术制造的各种传感器、执行器以及微系统的总称。与硅等无机材料相比，聚合物具有材料价格低廉，机械性能、透光性以及生物兼容性好，易于成型等优点。聚合物微机电系统中常用的聚合物材料包括：塑料，如聚甲基丙烯酸甲酯、SU-8胶、聚酰亚胺；橡胶，如聚二甲基硅氧烷；纤维，如聚偏二氟乙烯。聚合物微机电系统除了可以采用半导体微加工技术（如光刻、干法或湿法刻蚀）进行制造，还因为聚合物本身特有的柔韧性，也可以采用复制技术进行制造。复制技术具有加工成本低、制造周期短等优点。常用的复制技术包括热压成型、注塑成型和浇注成型。自20世纪90年代以来，聚合物微机电系统在很多领域得到了应用，尤其在光学、生物医学和化学等领域更是得到了广泛关注，如聚合物集成光子学器件、柔性电子、微流控芯片等生化传感器、人造视网膜等植入型器件等。