菲索干涉仪测量法（fischer interferometer measurement method），工学-光学工程-光学应用-光学测量-波像差计量-光学零件面形偏差测量，采用等厚干涉原理，检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的一种精密仪器的测量方法。等厚干涉是平行光入射到微小角度楔形光劈上，随着厚度的变化产生干涉条纹的现象。菲索干涉仪测量法有平面检测和球面检测两种，平面检测由分束器、准直物镜和标准平面构成；球面检测由分束器、有限共轭距物镜和标准球面构成。在标准平面或标准球面上部分单色光束反射为参考光束；部分单色光束透射并通过被测元件，为检测光束。检测光束自准直返回与参考光束重合，形成等厚干涉条纹。用菲索平面干涉仪检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性；检测球面面形和其曲率半径，后者的测量精度约1微米；也可用于检测无限、有限共轭距镜头的波面像差。