微机电工艺仿真（MEMS process simulation），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微机电系统分层级设计，能够在三维沉浸感的虚拟环境中真实再现一个具体的工艺过程，并且允许用户实时操作工艺设备或改变相关参数的仿真技术。产品设计与制造过程的有力辅助工具，能够使得用户在产品开发或生产规划阶段对产品的工艺过程进行仿真和评估，从而能够检验既定生产工艺和优化生产工艺。工艺仿真主要包括复杂过程的实时可视化、复杂几何模型的实时处理。在微纳加工领域，器件与一般的机械系统相比，其体积相对很小，特征尺寸通常为微米级甚至是纳米级，很多物理规律就和宏观情况有了很大的不同，而且属于多学科交叉的新领域，其中包括了微电子技术和精密机械加工技术，器件除了包含电路部分外，还有微机械部分。因此工艺仿真对微纳加工以及微纳机电系统发展具有重大意义。通过对深反应离子刻蚀、薄膜淀积、薄膜刻蚀等具体微纳加工工艺过程进行模拟，通过建立每一步工艺的物理模型，采用合适的算法，模拟出微机电系统（MEMS）/纳机电系统（NEMS）的拓扑结构。