分压力真空计（partial pressure vacuum gauge），工学-机械工程-[机械产品]-产业机械-真空技术设备-真空技术-真空计，直接测量真空中混合气体组分和相应的分压力值的仪器。如果分压力真空计精度不高，只用于分析气体各种成分的存在并估计其大小，不能进行定量测定，这时称为残余气体分析仪。分压力真空计是专用的小型质谱仪器，都属电离类型，按原子离子或分子离子的质荷比进行分析。其分析过程可分为3个阶段：①在离子源中用电子碰撞的方法将气体电离。②在质量分析器中利用磁偏转、共振、飞行时间不同等质量分析技术，将离子按质荷比不同进行分离。③检测器（或离子收集极）接收分离的离子，将离子流放大，在显示装置上依次显示出每一质荷比的离子流强度。如果用纵坐标表示离子流幅度，横坐标表示离子质量数，各种离子的电流按其质量的大小排列成谱线图，称为质谱图。根据质谱图，运用识谱技术可以判断真空容器内气体的成分和含量。分压力真空计一般能扫描1～50u（u为1个原子质量单位），以至1～300u的质量范围，并能分辨相隔1u的相邻离子。