体微机械加工（bulk micromachining），工学-机械工程-机械工程基础-〔机械制造基础〕-加工制造-微纳机电系统，通过选择性地去除衬底材料以形成三维微结构的技术。体微机械加工是相对于表面微机械加工而言的。体微机械加工的加工对象是衬底本身而不是薄膜材料。表面微机械加工的主要加工对象是沉积在衬底上的薄膜材料，加工出的微器件具有体积小和响应快的优点，但它存在台阶覆盖引起的器件表面起伏和残余应力引起的结构屈曲变形等问题，在很多场合并不适用。大多数硅压力传感器的生产均使用体加工工艺。体加工所得到的微器件一般具有较小的残余应力、较平整的功能表面和缺陷少的晶体结构，可用于制造压力传感器、光开关和惯性传感器等很多微器件。主流的体微机械加工方法有以下几种。