超晶格涂层

超晶格涂层（superlattice coating），工学-机械工程-机械工程基础-机械设计-表面工程-[表面涂层]，将弹性模量不同，但热膨胀系数相近，且结合良好的两种材料，按照一定的周期以纳米量级的厚度交替沉积在衬底上形成的纳米多层涂层。超晶格涂层在沉积方向上的重复结构单元厚度称为调制周期，一般为5～10纳米。一个调制周期中相邻层的厚度之比称为调制比。超晶格涂层按其材料组成可以分为金属/金属、金属/陶瓷、陶瓷/陶瓷，其各调制层的结构可以是单晶或多晶。超晶格涂层的制备以PVD方法为主，一般通过开启或关闭、屏蔽不同的靶源或者是基体旋转经过不同的靶源来制备，靶源可以是金属、合金或者化合物。靶源气化后直接或与通入气体发生反应沉积在基体表面，能够方便地调节涂层中各调制层的顺序和厚度。超晶格的研究起初主要侧重于其半导体性质，后来超晶格结构又因其在力学性质方面的异常效应而得到广泛关注。超晶格涂层在较小的调制周期范围内会出现硬度和弹性模量异常升高的超硬和超模量效应。