离子束辐照（ion beam irradiation），理学-化学-放射化学与核化学-辐射化学-气体辐射化学，利用离子束对物质进行辐照，引起物质发生物理或化学变化的过程（包括材料剥离、沉积、注入等）。由离子源产生，以近似一致的速度沿几乎同一方向运动的一群离子称为离子束。装置离子束辐照装置主要包括离子源、真空系统、控制系统和电源等。其中离子源是产生离子束的装置，是离子束设备中的关键部件。按离子产生的方法主要分为电子碰撞型、固体表面电离型和热离子发射型。按产生离子的物质不同，离子源可分为气体离子源、液态金属离子源和固体表面离子源。气体离子源又称为等离子体离子源，其发展最为成熟，使用最为广泛。按产生激励源的方式不同分类，可分为热阴极、冷阴极、空心阴极、放电阴极、微波阴极和电子束阴极等多种。按产生离子束流的特点分类，可分为宽束源、细束源、弱流源、强流源、低能源和高能源等。