热阴极直流溅射

（机械工程）

热阴极直流溅射（hot cathode direct current sputtering），机械工程名词，借助于热阴极和阳极获得非自持气体放电，气体放电所产生的离子由在阳极和阴极(靶)之间所施加的电压加速而轰击靶的溅射。