扫描近场显微镜是一种用于材料科学领域的分析仪器，于2014年07月01日启用。1\探针扫描的工作方式和精度 ？ 具有样品扫描工作模式(即样品台扫描方式)，探针与样品间距采用音叉式轻敲方式控制，具有自动进针功能 ？ 样品台xy调节范围：≥5毫米，马达调节，精度0.25微米。 ？ 系统样品尺寸最大16毫米 ？ 样品扫描范围：≥80×80×80(微米)； ？ 近场光学分辨率：xy方向≤100纳米 ？ 要求能够精密地控制z方向针尖与样品表面的距离，马达调节，范围10mm，精度0.065微米。 ？ 能够扫描近场光学信号的同时得到AFM形貌图像 2\？ 样品台xy调节范围：≥5毫米，马达调节，精度0.25微米。 ？ 探针扫描范围：≥30×30×30(微米)， ？ 近场光学分辨率：xy方向≤100纳米， ？ 要求能够精密地控制z方向针尖与样品表面的距离，马达调节，范围10mm，精度0.065微米。 ？ 能够扫描近场光学信号的同时得到AFM形貌图像 3\1氩离子激光光源，波长为514nm激光器 4\具有透射，反射，和收集模式。