线锯切割（wire sawing cutting），工学-机械工程-〔机械制造工艺与装备〕-，利用直径小于1毫米金属线作为基体，金属丝两头分别由放线机构和收线机构拉紧，线轮正把向有节奏地旋转，在其表面固结磨粒（或者利用游离磨料），通过基体的运动，带动磨粒完成材料切割加工的方法。根据所用磨料的固结方式不同，线锯切割可分为游离线锯切割以及固结线锯切割（见图）。游离线锯切割是以金属线为基体，切割时将带有磨粒（金刚石或碳化硅）的浆液喷洒到切割区域，通过磨料、金属丝及工件之间的相互作用，实现切割加工，其加工原理为三体磨削。固结线锯切割是指通过某种技术或工艺，将细粒度的金刚石磨粒固定在微细金属丝基体圆周表面，使其具有一定的把持力，能够产生切削作用，进行一定时间的切削加工。相比游离线锯切割技术而言，固结线锯切割技术虽然在切割锯缝上与游离线锯相当，但是由于固结线锯的材料去除方式为二体磨粒磨损，因此，其具有切片效率高、切片表面质量好、锯口损耗少及出品率高等优点。固结多线线锯切割示意图线锯切割是晶圆切片工序中主要的加工方法。