微纳结构（micronano structure），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳结构，采用微加工工艺制作或材料生长工艺形成的具有一定功能的微米结构或纳米结构。纳米结构通常指尺寸在百纳米以下的功能结构；微米结构指百纳米（亚微米）至1毫米尺度范围的功能结构。在微/纳机电器件和系统中，微/纳结构起着传感、驱动、控制、支撑等关键作用。微纳结构起源于20世纪50年代。1952年，美国研究者提出利用牺牲层金属刻蚀制作自由直立静电快门，并申请了专利。1959年，美国物理学家R.P.费曼（Richard Phillips Feynman，1918～1988）提出小到原子领域的观点，预测了机械结构微型化的趋势，并指出自组装和纳米技术将大有作为。1967年，美国科学家利用金属表面微加工制作出具有悬臂梁门电极结构的晶体管。20世纪六七十年代，利用硅刻蚀技术制作出如金属光阀（最早的数字微镜）、场发射阵列等微结构。