朱慧珑
(中国科学院微电子研究所研究员)
朱慧珑,中国科学院微电子研究所研究员,博士生导师。提出了多项提高芯片性能的核心技术方案,其中包括双应力薄膜(DualStressLiner)、应力近临技术(stressproximitytech
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