电化学机械光整加工

电化学机械光整加工（electrochemical mechanical finishing），工学-机械工程-〔机械制造工艺与装备〕-〔特种加工工艺与装备〕-电化学加工-电解复合加工，工件在电化学溶解和机械刮削综合作用下实现光整加工的技术。是电化学加工与机械加工的复合工艺。通常选择以下工艺参数，可达到较好的光整效果。加工电压6～20伏；加工间隙0.3～1.5毫米；电流密度10～30安/厘米2；电解液温度应控制在40～60℃；工具头的磨具粒度在W20以下；刮膜运动速度在l米/秒以下；刮膜压力0.05～0.5兆帕。加工时，工件与电源阳极相连，工具与电源负极相连，两者之间保持一定的间隙，间隙内充满电解液；磨具部分可直接与电源阴极相接，也可独立安装于阳极另一侧，其与工件间形成相对刮削运动；工件在电化学溶解和机械刮削综合作用下实现光整加工。电化学机械光整加工时，工件发生阳极溶解，生成厚度在微米级范围、硬度远低于金属本身的氧化膜，阻止和减缓阳极溶解。