气态源分子束外延

（材料科学技术）

气态源分子束外延（gas source molecular beam epitaxy，GSMBE），材料科学技术名词，对化合物半导体薄膜而言，某些组分采用固体源物质，而某些组分采用气态源物质的分子束外延生长的技术。