扫描近场光学测量(scanning near-field optical measurement),工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-测量,采用近场光学原理研究距离物体表面一个波长以内的光学现象的测量技术。传统的光学理论,如几何光学、物理光学等,通常只研究远离光源或者远离物体的光场分布,统称为远场光学。远场光学在原理上存在着一个远场衍射极限,限制了利用远场光学原理进行显微和其他光学应用时的最小分辨尺寸和最小标记尺寸。近场光学则研究距离光源或物体一个波长范围内的光场分布。在近场光学研究领域,远场衍射极限被打破,分辨率极限在原理上不再受到任何限制,可以无限地小,因此基于近场光学原理可以提高显微成像与其他光学应用时的光学分辨率。近场光学技术的光学分辨率可达到纳米量级,突破了传统光学的分辨率衍射极限,这将为诸多科学研究领域,尤其是纳米科技的发展提供有力的操作、测量方法和仪器系统。