高精度位移控制(high precision displacement control),理学-力学-固体力学-电磁固体力学-电磁智能控制,控制器按照位移控制要求发出控制指令,将被控对象的位置按指定速度完成指定方向上的指定位移,即在一定时间内稳定停止在预定的目标点处的过程。高精度位移控制在超精密机械加工、电子器件的制造与组装、生物医学工程以及微纳米技术等领域具有广泛的应用前景。高精度位移控制需要由高精度定位控制系统完成,其中最重要的组成部分是高精度位移驱动器。高精度位移驱动器主要分为两大类,一类是基于洛伦兹力原理的电磁驱动器,另一类是基于逆压电效应的压电驱动器。在电磁驱动器中,磁场相对于导体运动,在导体中会产生感应电流,感应电流使导体受到安培力、即电流中定向移动电荷所受洛伦兹力的合力的作用,并发生移动,从而达到位移控制的目的。在使用电磁驱动器时,位移控制通过直流电机或步进电机来实现。通过调节磁场和导线中电流的大小,来改变安培力的大小,将被控对象的位置按指定速度完成指定方向上的指定位移。高精度电磁位移驱动器的分辨率可达到纳米量级。