电阻应变传感器

电阻应变传感器（resistance strain sensor），工学-仪器科学与技术-传感器-［被测原理］-物理量传感器-力学量传感器-电阻式传感器，利用电阻应变片将机械形变转换为电阻变化的传感器。主要由弹性敏感元件、电阻应变片和转换电路组成，可根据具体测量要求设计成多种结构形式。当被测物理量作用在弹性敏感元件上时，弹性敏感元件的变形引起电阻应变片的阻值发生变化，通过转换电路将其转变成电信号输出。电阻应变片是电阻应变传感器的重要组成部分，按照应变片材料的不同可以分为金属栅应变片、半导体应变片和薄膜应变片。金属栅应变片是将金属栅粘贴在绝缘基底上，金属栅上再粘贴一层覆盖层起防潮、防损等作用，常见的类型有金属丝式和金属箔式。区别于金属栅应变片受力变形导致栅的截面积和长度变化而使电阻值改变（电阻率不变），半导体应变片主要靠半导体材料沿某一轴向受力时，电阻率发生变化而引起阻值变化进行物理量测量。薄膜应变片采用真空蒸发或沉积的方法将金属敏感材料直接制作于弹性基片上，相比传统金属栅应变片，其灵敏度高，稳定性和可靠性更好。