微机电轮廓演化（MEMS contour evolution method），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微机电系统分层级设计，物体的形状、线条在物理或化学的条件下，由于内力或外力的作用，而随时间发生的变化称轮廓演化。在微机电系统（MEMS）中的轮廓演化是指具体的工艺过程中，材料边界的变化。如MEMS工艺中深反应离子刻蚀（DRIE），在鞘层电场的作用下，电子、离子、中性粒子轰击底层硅，与表面粒子发生物理或化学反应，物理化学溅射、粒子辅助刻蚀、吸附作用使衬底硅的表面向下或向两侧推进，这个过程就是硅表面轮廓演化的过程。轮廓的描述方法不同衍生出了很多轮廓线模型的分割方法。①如果轮廓用参数表示，就是参数活动轮廓模型（parametric active contour model），典型为snake模型，以参数的形式显示的表达轮廓线。