微细电火花加工（micro electrical discharge machining），工学-机械工程-〔机械制造工艺与装备〕-〔特种加工工艺与装备〕-电加工-电火花加工，实现微细、精密加工的电火花加工。发展概况微细电火花加工技术的研究起步于20世纪60年代末。荷兰飞利浦研究院的人员用微细电火花加工技术成功地加工出了直径30微米、精度0.5微米的微孔。但当时尚无法解决微细电极的在线制作问题，使得其加工效率偏低，加工精度一致性较差，这一成果并未引起人们足够的重视。进入80年代后，随着微机电系统技术的蓬勃兴起，以及这一时期现代电力电子技术的发展，尤其是1984年日本东京大学增泽隆久发明线电极电火花磨削技术后，成功地解决了微细电极的在线制作这一瓶颈问题，使微细电火花加工技术进入了实用化阶段，并成为微细加工领域的热点研究内容之一。