系统芯片集成（system on chip; SoC），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，将一个完整系统的全部或部分组件集成在单个芯片上，以实现某种完整电子功能的系统的技术。又称芯片上系统。广义上，系统芯片集成可将信息获取、处理、存储、交换和执行等功能集成在一起；而狭义上，系统芯片集成可将信息处理、存储和交换等功能集于一身。1998年，系统芯片集成在定制集成电路会议（Custom Integrated Circuits Conference; CICC）设立的SoC分会上首次提出，继而又在1999年的国际半导体技术路线图（International Technology Roadmap for Semiconductors; ITRS）中出现。为克服多芯片板级集成出现的问题，SoC在早期仅限于实现中央处理器、存储器和逻辑电路的系统集成。随着微电子技术的不断发展，SoC已经能够实现模拟、数字及混合信号、射频、微机电系统（Micro Electro-Mechanical System; MEMS）、光电、生物电等部件在一个芯片上的多功能集成。