微纳增材制造

微纳增材制造（micro-and nano-additive manufacturing），工学-机械工程-〔机械制造工艺与装备〕-增材制造工艺与装备-微纳增材制造，基于增材原理制造微纳结构或者功能性产品（具有微纳特征）的新型微纳加工技术。又称微纳尺度3D打印。微纳增材制造涵盖的尺度包括微尺度、亚微尺度、纳尺度、原子尺度和微/纳复合多尺度等。与现有微纳制造技术相比，微纳增材制造具有成本低、结构简单、可用材料种类多、无须掩模或模具和直接成形的优点，尤其是在复杂三维微纳结构、高深宽比微纳结构、（多材料）复合材料微纳结构、宏/微复合结构及嵌入异质结构制造方面，具有非常突出的潜能和优势。已经开发的微纳增材制造工艺和方法多达几十种，代表性的工艺主要包括：微立体光刻、双光子聚合激光直写、电流体动力喷射打印（电喷印）、微激光烧结（熔化）、气溶胶喷射打印、聚焦电子束诱导沉积、电化学制造（EFAB）、激光化学气相沉积（LCVD）、聚焦离子束直写、蘸笔纳米光刻、复合纳米材料3D打印及复合3D打印等。微尺度增材制造已经日趋成熟，生产效率和精度不断提高，部分工艺已经进入规模化工业应用。