自下而上制造（bottom up manufacturing），工学-机械工程-机械工程基础-〔机械制造基础〕-加工制造-微纳机电系统，从微观角度出发，通过控制原子、分子和其他纳米尺度对象，制造出所期望的结构、器件和系统的方法。与自顶向下制造相对。传统的自下而上方法主要包括物理气相沉积[注]（PVD）和化学气相沉积[注]（CVD）等，已经得到普遍应用。正在发展的自下而上方法主要是自组装或通过工具辅助实现对不同的纳米对象进行纳米操作。物理气相沉积是通过蒸发、电离或溅射等过程，产生金属粒子，并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面，主要包括蒸发、溅射和离子镀等方法，可制备具有耐磨、耐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑和超导等特性的膜层。化学气相沉积是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的方法。化学气相沉积法制造的材料通常包括氧化物、硫化物、氮化物和碳化物，以及Ⅲ-Ⅴ、Ⅱ-Ⅳ、Ⅳ-Ⅵ族中的二元或多元的元素间化合物，它们的物理功能可以通过气相掺杂的沉积过程精确控制。