固态传感器（solid state sensors），工学-机械工程-机械工程基础-〔机械制造基础〕-加工制造-微纳机电系统，以半导体、电解质、铁电体等为敏感材料，在力、磁、热、气体和湿度等因素作用下引起材料的物理/化学特性变化，并通过检测这些变化来反映被测参数值的传感器。1880年居里兄弟发现压电效应，随着压阻效应、光电效应等原理的发现及应用，1950～1960年学术界首次提出了固态传感器的概念。1981年第一届国际固态传感器、执行器与微系统国际会议[注]在美国召开，标志着现代固态传感器的兴起。固态传感器按照待测量可分为物理量传感器、化学量传感器和生物量传感器，按照检测原理可分为力敏传感器、磁敏传感器、光敏传感器、气敏传感器、湿度传感器、生物敏传感器等。以下举例说明几种不同原理的固态传感器。①压电传感器。以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，实现非电量测量。压电传感元件是力敏感元件，它可以测量最终能变换为力的非电物理量，例如动态力、动态压力、振动加速度。在工程力学、生物医学、石油勘探和电声学等领域得到了广泛的应用。②压阻式传感器。