电动执行器（electric actuators），工学-机械工程-机械工程基础-〔机械制造基础〕-加工制造-微纳机电系统，一种微机电系统器件。电动执行器主要分为两大类，即静电执行器和压电执行器。当电压（或电场）施加于两个导体时，导体之间会产生静电力，利用这种静电力作为驱动力的执行器称为静电执行器。对于一些材料，当受到电场作用时会产生机械形变（或力），这种效应被称为逆压电效应，利用逆压电效应作为驱动的执行器称为压电执行器。静电执行器的最基本结构是平行板电容器（图1a），它由一个可动平板和固定平板构成。在两个平板上施加一定电压（或电场）时，两个平板之间产生静电力，会使得可动平板向固定平板方向运动。可动平板通常通过支撑结构固定，支撑结构为可动平板提供回复力，从而与静电力相平衡。图1 静电执行器结构另一种典型的静电执行器结构是梳状电容（图1b），它由一组固定叉指和一组可动叉指组成，多个叉指对组成的电容相并联，通过叉指来增加边缘耦合长度，从而增大总电容的大小。梳状电容执行器可以实现横向和纵向的运动，运动方向取决于可动叉指支撑结构在各方向上的力学特性。