纳尺度失效（failure at nanoscale），工学-机械工程-机械工程基础-机械设计-机械强度学-结构完整性-失效机制，机械系统在纳尺度因变形、损伤、断裂、黏附、磨损等引起的承载能力、使用寿命和功能损失。纳尺度是指结构的空间尺度或长度进入数百纳米以内，以至出现与宏观机械统计平均性能不同的行为，一般为1～100纳米（1纳米=10-9米，约十个氢原子直径）。在纳尺度，构成机械的原子排布、运动及其相互作用对机械失效的影响变得不可忽略，化学和电磁等外加物理场的作用变得突出，甚至成为失效的主导因素。宏观机械结构的损伤、疲劳、断裂、腐蚀等破坏和元器件的磨损等失效也都起始于纳尺度原子间键的断裂和重组。因此，研究纳尺度失效是机械学科的交叉前沿领域，涉及材料、固体、化学、力学、纳米技术等学科知识和技术。