非晶硅制备

非晶硅制备（preparation of amorphous silicon），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-[薄膜生长]-半导体薄膜制备，非晶硅是元素硅的非晶态半导体。具有不同于晶态半导体的独特性质。它的吸收系数比单晶硅大一个数量级，其吸收光谱更接近于太阳光谱，有良好的光电导性能。研究非晶硅既可发展原先基于晶态物质的半导体理论，又可开发一系列新的非晶硅半导体器件，有理论和实际意义。由于优质的非晶硅中常含有较多的氢，有时又称为非晶硅氢合金。