研究低温等离子体条件下化学反应的化学分支学科。物质一般有固态、液态和气态三态，等离子体却被认为是物质的第四态。为了使气体变成等离子体，必须使其电离。根据电离度大小，将等离子体分成两类：高温等离子体（电离度大于0.1%）和低温等离子体（电离度小于0.1%）。在太阳内部，等离子体温度极高，是高温等离子体，所发生的反应是核聚变。等离子体化学主要研究低温等离子体条件下发生的化学反应。产生等离子体的方法有三种：①热电离。任何物质加热到足够高的温度都会成为等离子体 ；② 辐射电离。用高能辐射如紫外线、X射线、γ射线等辐照稀薄气体 ，使其电离；③放电电离。气体在外加电场（直流电场和射频电场）作用下放电。人为进行的等离子体化学反应主要用第三种方法。