纳米针尖（nanotip），理学-化学-物理化学-纳米物理化学-纳米针尖，扫描探针显微镜中一个重要组成部分。扫描探针显微镜是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种探针显微镜（原子力显微镜、激光力显微镜、磁力显微镜等）的统称，它们的共同特点是探针在样品表面扫描，同时针尖与样品间的相互作用力被记录。由于扫描探针显微镜的发展主要是针尖的设计，改变针尖的种类或性质就可以进行不同的实验，所以国际商业机器公司（IBM）苏黎世研究实验室的物理学家金兹维斯基把扫描探针显微镜誉为“针尖上的实验室”。因此，纳米针尖在扫描探针显微镜的研究中占据着十分重要的地位。高质量针尖的使用最初出现在扫描隧道显微镜领域里，针尖品质的优劣一定程度上决定了扫描隧道显微镜的性能，针尖形貌的一致性和制备技术的可重复性对于扫描隧道显微镜实际应用和研究都极其重要。大多数探针是通过光刻、湿法腐蚀和干法刻蚀等微加工工艺制成的。制造硅纳米探针最常用的方法是结合硅的光刻和各向异性湿法刻蚀。首先在硅表面覆盖一层氧化硅或氮化硅膜，然后利用光刻技术刻蚀薄膜形成掩膜，最后通过湿法各向异性刻蚀和钻蚀形成探针。