干式涡旋泵

干式涡旋泵，简称干泵，又称涡旋式干泵、干式真空泵，能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作，在泵的抽气流道(如泵腔)中，不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵。干式涡旋泵，简称干泵，又称涡旋式干泵、干式真空泵，能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作，在泵的抽气流道(如泵腔)中，不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵。