"DLC"是英文"DIAMOND-LIKECARBON"一词的缩写。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似,同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶态薄膜,由于具有高硬度和高弹性模量,低摩擦因数,耐磨损以及良好的真空摩擦学特性,很适合于作为耐磨涂层,从而引起了摩擦学界的重视。目前制备DLC薄膜的方法很多,不同的制备方法所用的碳源以及到达基体表面的离子能量不同,沉积的DLC膜的结构和性能存在很大差别,摩擦学性能也不相同。常见的制备DLC薄膜的方法有真空蒸发、溅射、等离子体辅助化学气相沉积、离子注入