等离子体反应动力学（plasma reaction kinetics），理学-力学-交叉力学-多场耦合力学-低温等离子体-等离子体反应动力学，研究等离子体中物理和化学反应过程及其平衡和非平衡现象的学科。等离子体在各领域的应用中，主要利用通过放电产生的各种活性粒子，包括电子、离子、激发态粒子和光子等。决定这些活性粒子的反应动力学参数，主要为反应速率和稳态时粒子浓度分布等。典型的等离子体反应器如图所示。典型的等离子体材料处理反应器等离子体反应动力学主要研究等离子体中的原子和分子碰撞、化学反应、粒子和能量平衡、表面及动力学过程等。等离子体的激发过程，主要通过其中的电子、离子和原子、分子发生的弹性散射（动量和能量交换）和非弹性碰撞（激发和电离）实现。在具有化学活性的等离子体中，还存在分子的分解和复合、负离子的产生和损失（电子吸附和解吸附、正负离子电荷转移）、共振电荷转移和气相化学反应等过程。等离子体中的活性粒子的浓度，主要由其中的物理化学过程决定，包括电子-离子对、自由基和负离子的产生、气相化学反应和表面相反应。