全固态射频发生器（all solid state frequency conversion generator），理学-化学-分析化学-【光化学分析法】-火花放电光源，提供电感耦合等离子体炬（ICP）放电的能源，能量以射频的形式由炬管同心的感应线圈耦合给等离子体。又称高频发生器。电感耦合等离子体炬发展于20世纪60年代。电感耦合等离子体炬是常压下的无极放电，高频电磁场是形成稳定放电的必要条件之一。通常将低于1000赫兹的交流电称为低频电流，大于10000赫兹的称为高频电流，而300千赫～300吉赫（1吉赫=109赫兹）的超高频称为射频，而300兆赫～300吉赫（1兆赫=106赫兹）的微波频段又是射频的较高频段。位于矩管上部的感应线圈通过27.12兆赫或40.68兆赫的高频电流，由此产生高频感应磁场。射频发生器的输出功率是指流经感应线圈的负载功率（又称正向功率或入射功率），而消耗在线路上的反射功率则愈小愈好。维持ICP稳定放电的输出功率应维持在800瓦以上，通常射频发生器输出功率应不低于1.6千瓦。射频发生器的输出功率直接影响光谱仪的检出限和测量精密度等分析性能。