矿物电子探针分析（electron probe analysis of mineral），理学-地质学/地质资源与地质工程-地质资源与地质工程总论-地质实验分析-岩石矿物物相分析，以聚焦的高速电子轰击矿物样品表面，并通过测量激发出的元素特征X射线波长（或能量）及其强度，完成矿物微区成分的定性或定量分析的方法。进行矿物电子探针分析的方式主要有点分析、线扫描、面扫描等。①点分析。分析的最小微区范围近1微米，高度聚焦的电子束轰击在矿物样品表面，激发出矿物组成元素的特征X射线，用分光器或检波器测定荧光X射线的波长，并将其强度与标准样品对比，或根据不同强度校正得出组分含量。②线扫描。用于测定样品中某种元素沿给定直线分布的情况。方法是将X射线谱仪（波谱仪或能谱仪）固定在所要测量的某元素特征X射线信号（波长或能量）的位置上，把电子束沿指定的方向做直线轨迹扫描，便可得到该元素沿直线特征X射线强度的变化，从而反映了该元素沿直线的浓度分布情况。③面扫描。用于测定样品在特定范围内某种元素的面状分布情况。