超声辅助激光加工(ultrasonic vibration assisted laser machining),工学-机械工程-〔机械制造工艺与装备〕-〔特种加工工艺与装备〕-〔其他加工工艺与装备〕-超声辅助特种加工,综合利用激光加工和超声波加工的优点而进行的复合加工技术。超声辅助激光加工是特种加工技术的一种,是一门多学科综合的高级技术,被广泛应用于航空航天、电子电路器件以及精密机械等行业。在激光加工的同时,超声振动信号激励加工物体做高频的微米级振动,即激光加工为主要加工,超声振动系统辅助加工,物体的高频振动能够加快激光烧蚀区域的空气流动,同时对加工的残渣起到振动抛出的效果,一方面提高了激光的利用率,另一方面降低了熔渣残留从而在加工表面形成重铸层。能够有效提高材料加工表面质量,减少加工碎屑的残留,提高孔腔垂直度,增加孔的深度。在机械制造领域中,超声辅助激光加工拥有独特的优势,发挥着不可替代的作用,将得到更加广泛的应用。