微/纳机电系统

微/纳机电系统（micronano electromechanical system; MNEMS），工学-机械工程-机械工程基础-〔机械制造基础〕-加工制造-微纳机电系统，利用微/纳制造技术加工出的各种微/纳结构和器件的系统。微/纳机电系统主要包括可感知力、热、光、生、磁、化等外界信息的微传感器，具有输出运动、能量、信息等进行环境交互的微执行器，以及信号处理与控制电路、接口、通信及电源等各种功能部件。M/NEMS的特征尺寸在微米量级，随着微/纳制造工艺水平的不断提高，将器件尺寸缩小至亚纳米到几百纳米范围，便成为NEMS，并表现出独特的尺寸效应、界面效应和量子效应等新效应。MEMS和NEMS是微纳米技术的重要组成，已形成一个新的技术领域。MEMS已实现广泛的产业化发展，而NEMS仍处于基础研究阶段。从研究与应用现状看，M/NEMS的内涵已远远超出原来的定义，即使该结构或器件不包含定义中的其他功能部件。