薄膜结构疲劳（fatigue of thin film structures），工学-机械工程-机械工程基础-机械设计-机械强度学-结构完整性-载荷谱，一种受基体约束的，具有二维结构的材料疲劳的现象。薄膜结构薄膜是一种具有二维结构的材料。通常，薄膜在厚度方向上的尺度远远小于其他两个方向上的尺度（至少小20倍以上，有时甚至要小几百倍以上）。薄膜材料广泛应用于信息技术、智能传感与控制、新能源等相关领域中的高性能芯片、微电子机械系统、柔性及微纳米器件中。根据薄膜变形时受约束情况，薄膜可以分为无约束、部分受基体约束和完全受基体约束三种类型，如图所示。具有微米至纳米厚度的各种薄膜往往通过物理气相沉积或化学气相沉积等方法制备在具有一定厚度的诸如单晶硅、柔性聚合物等基底上。一般地，薄膜结构泛指受基体约束的薄膜，也可称作薄膜材料（如图1b所示），而较厚的无约束薄膜通常被称为箔材（如图1a所示）。通常，薄膜结构中晶粒呈现柱状晶形态，晶粒尺寸因沉积条件的不同在微米至纳米范围；对于具有面心立方晶体结构的金属（如铜、金等）薄膜，其晶粒的面外织构主要为{111}。