激光烧蚀进样（laser ablation sampling），理学-化学-分析化学-【光化学分析法】-火花放电光源-激光剥蚀，电感耦合等离子体质谱仪用于分析固体样品的一种进样方式。是电感耦合等离子体质谱是对于痕量元素分析的首选方法。又称激光剥蚀。装置Nd:YAG固体激光器是激光烧蚀-电感耦合等离子体质谱（LA-ICPMS）方法普遍使用的激光器，其四倍频（λ=266纳米）和五倍频（λ=213纳米）是商品化仪器的广泛使用的波长。Nd:YAG激光器的1064纳米红外输出波长经过倍频晶体转换后，激光束功率大幅衰减（低于50%）。应用ArF准分子激光器（λ=193纳米），可将激光束的空间分辨率提高到10微米。激光烧蚀所用激光器均为大功率、高重复性的脉冲激光器，适合于大面积采样。激光烧蚀-电感耦合等离子体质谱是一种可以对固体样品进行原位纳克级采样，提供微区内元素组分的含量、同位素组成等信息的分析方法。激光烧蚀进样系统如图所示。将制成片状的固体样品的表面经过打磨和抛光处理后，固定于样品台上，在光学显微镜下将激光束聚焦在样品表面某一特定位置。