膜厚计量技术（film or coating thickness measurement technology），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-计量-几何量计量学-膜厚计量技术，应用各种接触式或非接触式测量方法，实现对各种不同结构和材料的薄膜厚度进行测量的技术。概述膜厚是薄膜物理层厚度的简称。应用光学、机械、电子及半导体等产品为实现某种功能，通过特定加工方法沉积镀制的表面覆盖层或自支撑单体薄膜的厚度。膜厚是微小尺度几何参数，是薄膜的几何、光学、材料等诸多特性参量中重要参量之一。薄膜厚度相对于其横向长度、宽度尺寸的比值很小，尺度范围从纳米量级到数百微米量级。根据薄膜的存在形态（分为覆盖膜、自支撑膜又称自由膜）、材料属性（分为有机膜、金属膜、非金属膜）、功能特性（分为消费膜、保护膜、光学膜、电子膜）、制备方法（化学合成、电镀、蒸镀、溅射）等不同，膜厚测量方法也不同，应用了包括机械、光学、电学及磁感应等不同技术。不同结构的薄膜示意图见图1～3。